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半导体湿法制程酸蚀设备

半导体湿法制程酸蚀设备

描述

昆航智能:半导体湿法制程酸蚀设备

 

精准刻蚀,洁净无忧

 

昆航智能专为半导体前道制程打造高性能湿法酸蚀设备,聚焦 高均匀性、极致洁净与强耐腐蚀 三大核心优势。

 

• 工艺卓越 :采用创新流场设计,确保晶圆表面酸蚀速率高度一致,显著提升产品良率。

 

• 材质可靠 :全系PP/PTFE/PFA防腐结构,无惧强酸强碱,杜绝交叉污染。

 

• 智能高效 :集成自动化上下料与药液监控系统,降低人工误差,实现高效运维。

 

广泛应用于大硅片、先进封装及功率器件制造,以自主可控技术助力芯片制造新高度


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